特許
J-GLOBAL ID：200903019343842706
レーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-335034
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185863
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 強度分布がほぼ均一な加工ビーム、又は強度分布がガウス分布状の加工ビームの何れでも被加工物に照射できるレーザ加工装置を提供する。【構成】 レーザ光源1からのレーザビームLBをビームエクスパンダ11を介して可変視野絞り4Aに導き、可変視野絞り4Aを通過したレーザビームを、リレーレンズ5、可変開口絞り6A及び対物レンズ7を介して、加工ビームLB4として被加工物8上に照射する。加工ビームの強度分布をほぼ一定にするには、ビームエクスパンダ11の倍率を高めて可変視野絞り4A、及び可変開口絞り6Aを調整し、加工ビームの強度分布をガウス分布状にするには、ビームエクスパンダ11の倍率を小さくして、可変開口絞り6Aを調整する。
請求項（抜粋）：
レーザビームを所定形状に絞って被加工面上に照射するレーザ加工装置において、レーザ光源と、前記レーザ光源から射出されるレーザビームの断面形状を可変倍率で伸縮するビーム径変換光学系と、該ビーム径変換光学系から射出されるレーザビームの一部の領域を遮光する可変視野絞りと、該可変視野絞りの開口部を通過したレーザビームを所定の絞り面上に集光する集光光学系と、前記所定の絞り面上でレーザビームの一部の領域を遮光する可変開口絞りと、該可変開口絞りの開口部を通過したレーザビームをほぼ平行光束にして被加工面上に照射する対物レンズと、を有し、前記ビーム径変換光学系の倍率に応じて、前記可変視野絞り及び前記可変開口絞りを介して前記被加工面上での前記レーザビームの照射領域を設定することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
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