特許
J-GLOBAL ID:200903019346782895

レーザ走査装置および画像形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 辰雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-158086
公開番号(公開出願番号):特開平6-347418
出願日: 1993年06月04日
公開日(公表日): 1994年12月22日
要約:
【要約】【目的】 レーザ光強度がガウス分布を呈するにもかかわらず、均一な強度分布を有するレーザ光で照明した場合と同等の観察が行えるようにする。【構成】 光強度Iが光束の半径方向についてガウス分布103を呈するレーザ光を照射し、このレーザ光の光束をその半径にほぼ等しい間隔aを相互に有する被検物体の複数断面に沿って移動させる。さらにその移動を行いながら、そのレーザ光による散乱光を検出して画像を形成する。
請求項(抜粋):
光強度が光束の半径方向についてガウス分布を呈するレーザ光を照射する手段、およびこのレーザ光の光束をその半径にほぼ等しい間隔を相互に有する複数断面に沿って被検物体中を移動させる手段を具備することを特徴とするレーザ走査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平1-206235
  • 特開平1-206235
  • 特開平2-185454
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