特許
J-GLOBAL ID：200903019351207882
保管装置及び搬送車
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162508
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017851
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】保管容器を供給装置の載置部上に載置するだけで保管容器の内部空間の雰囲気を容易かつ確実に置換できる保管装置を提供する。【構成】保管容器1の底部1aに第1及び第2の管継手5,7が設けられ、供給装置8の載置部8aに第3及び第4の管継手10,12が設けられている。保管容器1が載置部8a上に載置されると、第1及び第2の管継手5,7がそれぞれ第3及び第4の管継手10,12に接続され、供給経路9及び導入経路4を介して保管容器1の内部空間2に置換用ガスが導入されるとともに、内部空間2から導出経路6及び排出経路11を介してガスが排出されて、内部空間2の雰囲気が置換される。
請求項（抜粋）：
対象物を収容するための密閉された内部空間と、内部空間に連通されかつ内部空間の雰囲気を置換するための置換用ガスを第1の管継手を介して導入する導入経路と、内部空間に連通されかつ内部空間のガスを第2の管継手を介して導出する導出経路とを備える保管容器と、第1の管継手に接続される第3の管継手を介して置換用ガスを供給する供給経路と、第2の管継手に接続される第4の管継手を介してガスを排出するための排出経路とを備える供給装置とを設けた保管装置において、供給装置には保管容器を載置するための載置部を設け、保管容器を載置部に載置することにより第1及び第2の管継手がそれぞれ第3及び第4の管継手に接続されるように、第1及び第2の管継手を保管容器の底部に設け、第3及び第4の管継手を供給装置の載置部に設けた保管装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 A
, B65D 85/38 R
