特許

J-GLOBAL ID：200903019352759560

バンプ頂点検出方法並びにこれを用いたバンプ高さ測定方法及び装置

発明者： 若竹 伸一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307265
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124523
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 頂点が中心からずれた異形のバンプであっても、バンプ高さを正確に測定できるようにする。【解決手段】 半球殻状照明4は、半導体チップ10表面の周囲から半導体チップ10表面へ光を照射する。二次元カメラ3は、その半導体チップ10表面を垂直方向から撮像する。平行光照明2は、半導体チップ10表面に対して角度θ1から半導体チップ10表面へ平行光線を照射する。一次元カメラ1は、その半導体チップ10表面を、平行光照明2と対向する位置で角度θ2(=θ1)から撮像する。移動ステージ5は一次元カメラ1による半導体チップ10表面の被撮像位置を変え、測長器6は被撮像位置を測定する。画像処理部7は、画像b、画像a及び被撮像位置cに基づきバンプ12の高さを算出する。

請求項（抜粋）：

光沢のある半球状のバンプが形成された基板表面へ、当該基板表面の垂直方向を除く周囲から光を照射し、この光で照らされた前記基板表面を前記垂直方向から撮像器で撮像することにより前記基板表面の画像を取得し、この画像における前記バンプの表面に写った前記撮像器を当該バンプの頂点とする、バンプ頂点検出方法。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/60

FI (4件)：

G01B 11/02 H ,  G06F 15/62 405 B ,  G06F 15/64 D ,  H01L 21/92 604 T

Fターム (35件)：

2F065AA24 ,  2F065DD03 ,  2F065FF05 ,  2F065FF24 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG18 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  5B047AA12 ,  5B047AB02 ,  5B047BB02 ,  5B047BB06 ,  5B047BC12 ,  5B047CB23 ,  5B047DC09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CC01 ,  5B057DA08 ,  5B057DC05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 高さ測定装置および高さ測定方法および観測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-089854   出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (1件)

• 高さ測定装置および高さ測定方法および観測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-089854   出願人：オムロン株式会社