特許

J-GLOBAL ID：200903019355326096

デバイスウエハの外周研磨装置及び研磨方法

発明者： 箱 守 駿 二
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134977
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329687
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 表面に金属膜が形成されたデバイスウエハの外周部にある不要な金属膜を、一回のチャックによって効率良く、しかも残された金属膜の端部が直角になるように除去する。【解決手段】 デバイスウエハ1をチャックして軸線Lの回りに回転させながら、第1及び第2の傾斜面用研磨部材13a,13bの弧状の作業面22をそれぞれウエハ1の表裏面の傾斜面2a,2bに線接触させると共に、周側面用研磨部材14の弧状の作業面42をウエハ1の周側面3に線接触させ、さらに、ディスク形の周縁部用研磨部材15を軸線の回りに回転させながらその外周の作業面を該ウエハ1の表面周縁部に該表面と平行に接触させ、上記各研磨部材で対象部位を同時に研磨することにより、ウエハ1の外周部にある不要な金属膜を除去する。

請求項（抜粋）：

両面外周の面取り加工された傾斜面と、両傾斜面間に位置する周側面と、表面に形成された金属膜とを有するデバイスウエハをチャックし、軸線の回りに所要の速度で回転させるチャック手段、弧状の作業面をそれぞれ有し、各々の軸線をウエハの軸線に対して傾斜させることにより、上記作業面がウエハの表面側の傾斜面に線接触するように配設された第1傾斜面用研磨部材と、裏面側の傾斜面に線接触するように配設された第2傾斜面用研磨部材、弧状の作業面を有し、軸線をウエハの軸線と平行に向けることにより、上記作業面がウエハの周側面に線接触するように配設された周側面用研磨部材、ディスク形に形成され、ウエハの軸線と直交又は平行する軸線の回りに回転自在かつ、作業面がウエハの表面周縁部に該表面と平行に接触するように配設された周縁部用研磨部材、を有することを特徴とするデバイスウエハの外周研磨装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 601 ,  B24B 5/50 ,  B24B 7/20 ,  B24B 9/00 601

FI (5件)：

H01L 21/304 621 E ,  H01L 21/304 601 B ,  B24B 5/50 Z ,  B24B 7/20 ,  B24B 9/00 601 H

Fターム (15件)：

3C043AA01 ,  3C043AC00 ,  3C043BB00 ,  3C043CC02 ,  3C043CC11 ,  3C043DD01 ,  3C049AA02 ,  3C049AA11 ,  3C049AA13 ,  3C049AA16 ,  3C049AA18 ,  3C049BC02 ,  3C049CA02 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03