特許
J-GLOBAL ID：200903019357384743
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012828
公開番号（公開出願番号）：特開平10-207052
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき、ポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を有する付加重合可能なモノマー、(2)酸性基を有する特定のモノマー、および(3)親油性基を有する特定のモノマーを共重合成分として有し、かつ(1)、(2)および(3)の成分の合計重量は全成分重量の90%を超える範囲にある高分子化合物を含有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも下記(1)で示される構成成分、(2)で示される構成成分および(3)で示される構成成分を共重合成分として有し、かつ(1)、(2)および(3)の成分の合計重量は全成分重量の90%を超える範囲にある高分子化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を有する付加重合可能なモノマー(2)下記の構造〔1〕乃至〔4〕で示されるモノマー【化1】式中、Aは水素原子、ハロゲン原子またはアルキル基を表す。Wは酸素、または-NR3-であり、R3は水素原子、アルキル基、アリール基を表す。R1は置換基を有していてもよいアルキレン基、アリーレン基、R2は水素原子、アルキル基、アリール基を表す。R4はアルキル基、アリール基を表す。Y,Zは同一であっても異なっていても良いアリーレン基を表す。Xは連結基であり、炭素、窒素、酸素、硫黄、ハロゲン、水素原子から選ばれる原子からなる2価の有機基を表す。m,lは0から1の整数を、nは1から3の整数を表す。(3)下記の構造〔5〕乃至〔8〕で示されるモノマー【化2】Wは酸素、または-NR3-であり、R3は水素原子、アルキル基、アリール基を表す。R5は置換基を有していても良いアルキル基、置換基を有していても良いアリール基、R6はアルキル基、アリール基を表す。Uはシアノ基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシメチル基、窒素原子を含むヘテロ環、もしくは-CH2 OCOR6 (R6 は上記と同義)をあらわす。Aは前記〔1〕〜〔4〕と同義。
IPC (5件)：
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
