特許

J-GLOBAL ID：200903019358102130

単分散性共重合体及びその製造方法

発明者： 渡辺 修 ,  山田 素行
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 滝田 清暉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245548
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065333
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、新規な単分散性共重合体、及びその製造方法を提供すること。【構成】下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体、及びその製造方法。【化1】【化2】但し、化1式中、Rは水素原子又はメチル基である。

請求項（抜粋）：

下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体;【化1】【化2】化1式中、Rは水素原子又はメチル基である。

IPC (4件)：

C08F297/02 MRD ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027