特許

J-GLOBAL ID：200903019358411477

誘導結合プラズマ発光分析方法及びその装置

発明者： 原田 洋一 ,  伊藤 哲雅
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-198786
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062140
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【構成】 分光器を、複数備え、一つ以上の分光器にプラズマの発生方向からの光を入射させ、残る一つ以上の分光器にプラズマの発生方向と直交する方向からの光を入射させ分析する【効果】 感度が高いプラズマの発生方向から光を取り入れる方法により分析と、正確度に優れるプラズマの発生方向と直交する方向から光を分光器に取り入れる方法の、二つの方法を、試料や被分析元素のの濃度・正常・求められる感度や正確度に依って選択できる。

請求項（抜粋）：

試料を励起し、発光させるプラズマと、前記プラズマからの光を分光し、前記分光した光を検出する分光器からなる誘導結合プラズマ発光分光分析装置に於て、前記分光器を、少なくとも2つ備えるとともに、一方分光器である第1の分光器は、実質的に前記プラズマの発生方向からの光を入射させる位置に配置するとともに、他方分光器である第2の分光器は、前記プラズマの発生方向と実質的に直交する方向からの光を入射させる位置に配置したことを特徴とする誘導結合プラズマ発光分析装置。