特許
J-GLOBAL ID：200903019364852132
超精密加工機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 喜樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155867
公開番号（公開出願番号）：特開平5-318287
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 ワークの実形状をオンマシンで迅速かつ正確に測定し、その測定データに基づき加工誤差をインプロセス制御により補正して加工精度を向上する。【構成】 超精密加工旋盤のX軸テーブル5上に、振動及び案内面の移動真直度の影響を受けにくいレーザ干渉計9を設置する。レーザ干渉計9により加工中におけるワーク12の加工面形状を測定し、その測定データをプロセッサ16を介してNC制御装置19に出力する。NC制御装置19は測定データに基づき加工誤差補正データを作成して、主軸台6を駆動するサーボモータ7及び刃物台8を駆動するサーボモータ10を制御する。
請求項（抜粋）：
ワークの形状を測定するために加工機上に設置されたレーザ干渉計と、前記レーザ干渉計の測定データに基づきワークの加工誤差を補正するNC制御装置とを具備することを特徴とする超精密加工機。
IPC (2件)：
引用特許：
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