排気制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-053814
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223586
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】露光装置において、放電を利用した光源を有する光源ユニツトを複数個用いた場合、各光源を安定して点灯させることができなかつた。【解決手段】温度検出手段から送出される温度検知信号に基づいて、排気手段による排気動作を開始させ、かつ光源の安定化温度に到達した光源ユニツトに対応した排気管の排気径路開閉手段を順次開放させると共に、安定化温度に到達した光源が安定化温度を保持し得るように排気手段から排気される排気量を排気量調整手段によつて調整する。これにより、各光源を過熱させずに個別に安定化温度まで到達させることができると共に、既に安定化温度に保持されている光源を過冷却させずに、新たに安定化温度に到達した光源を安定化温度に保持させることができ、かくして光源ユニツトを複数個用いた場合でも、簡易な構成で該各光源を安定して点灯させることのできる排気制御装置を実現し得る。

請求項（抜粋）：

放電を利用した光源を筐体内に有する光源ユニツトを複数備えた露光装置における該各光源ユニツト内の排気を制御する排気制御装置において、各前記光源ユニツトに設けられた各排気管にそれぞれ設けられ、該各排気管の排気径路を開閉する排気径路開閉手段と、各前記排気径路を介して各前記光源ユニツト内を排気する排気手段と、該排気手段から排気される排気量を調整する排気量調整手段と、各前記光源毎の温度をそれぞれ検出し、各前記光源毎に温度検知信号を送出する温度検出手段と、前記温度検知信号に基づいて、前記排気手段により排気動作を開始させ、かつ前記光源の安定化温度に到達した前記光源ユニツトに対応した前記排気管の前記排気径路開閉手段を順次開放させると共に、前記安定化温度に到達した前記光源が前記安定化温度を保持するように前記排気量調整手段を制御する制御手段とを具えることを特徴とする排気制御装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-081704
特開昭63-081704

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