特許
J-GLOBAL ID：200903019366631567
物品搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319260
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144751
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 ウエハリングユニット等の物品を安全に搬送できるようにすること。【構成】 ウエハリングユニット2を保持する保持機構13と、この保持機構に連結されて上記ウエハリングユニットを所定位置へ搬送する搬送機構14と、を有する物品搬送装置(ウエハリングユニット搬送装置)において、上記保持機構は、ウエハリングユニットを保持する保持ブロック24が、搬送機構に取り付けられた搬送ブロック25に第1スプリング27、緩衝ブロック26及び第2スプリング28を介してフローティング支持されたものである。
請求項（抜粋）：
物品を保持する保持機構と、この保持機構に連結されて上記物品を所定位置へ搬送する搬送機構と、を有する物品搬送装置において、上記保持機構は、上記物品を保持する保持ブロックが、上記搬送機構に取り付けられた搬送ブロックに弾性体を介してフローティング支持されたことを特徴とする物品搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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特開平2-291144
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特開昭49-132671
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特開昭58-077482
審査官引用 (3件)
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特開平2-291144
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特開昭49-132671
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特開昭58-077482
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