特許

J-GLOBAL ID：200903019368479169

感光性樹脂

発明者： 宮崎 忠一 ,  水盛 正英 ,  本村 美樹
出願人/特許権者： 三洋化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071091
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258823
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【構成】 一般式【化1】(式中、nは1〜10の整数)で表される基を分子中に少なくとも1個有する感光性樹脂。【効果】 本発明の感光性樹脂は、300nm以上に吸収波長域を持つアジド基を分子内に1個以上持つため高感度となる。従ってこの感光性樹脂は、該波長域の光を透過する工業的に安価な乳剤被覆製フォトマスクあるいはソーダガラス製のフォトマスクの使用が可能となる。従って本発明の感光性樹脂は、フォトレジストとして有用である。

請求項（抜粋）：

一般式【化1】(式中、nは1〜10の整数)で表される基を分子中に少なくとも1個有する感光性樹脂。

IPC (6件)：

G03F 7/012 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-045239
  
• 特開平3-206813