特許

J-GLOBAL ID：200903019381515778

イオンビーム加工観察装置

発明者： 広瀬 博 ,  小池 英己 ,  有馬 義雄 ,  石谷 亨
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-003600
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199466
出願日： 1997年01月13日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】TEM-FIB共用ホルダを用いる加工とウエハ加工では従来試料微動装置を交換していたが交換作業に時間がかかり、重量物の運搬を伴うので危険が伴い、交換に伴い設定位置の再設定が必要であった。【解決手段】対応するステージをイオンビーム軸と同軸に配置し、両ステージの間に集束レンズ4を配置した。下側のステージ上の試料13を処理する場合はサイドエントリーステージ19のホルダを引き抜き更にレンズ条件を変える。

請求項（抜粋）：

荷電ビーム軸上に第1の試料微動装置と第2の試料微動装置を備え荷電ビームのレンズ条件を変えることにより第1及び第2の試料微動装置上の試料の加工又は観察が可能であることを特徴とするイオンビーム加工観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/26

FI (3件)：

H01J 37/30 Z ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/26