特許

J-GLOBAL ID：200903019391281570

縦型部品を具備する電気デバイス

発明者： バッケルス,エリク ペー アー エム ,  ウォルテルス,ロベルテュス アー エム ,  クロートウェイク,ヨハン ハー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  杉山 公一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-514247
公開番号（公開出願番号）：特表2008-500719
出願日： 2005年05月19日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

縦型部品を具備する電気デバイス、及びそれを製造する方法が開示される。電気デバイスは、例えばゲート包囲型トランジスタ等の縦型チャネルを具備するFET素子、又は二重ゲート型トランジスタ等のトランジスタ素子とし得る。先ず、例えばナノワイヤー等の伸張構造が基板に設けられる。続いて、誘電体層によって基板と伸張構造とから分離された第1の導電層が設けられる。さらに、分離層によって第1の導電層から分離された第2の導電層が、伸張構造の少なくとも頂部に接触するように設けられる。

請求項（抜粋）：

電気デバイスの製造方法であって: a)主表面を有する基板に、該主表面から突出する伸張構造を設ける工程、 b)前記主表面及び前記伸張構造に誘電体層を設ける工程;及び c)前記誘電体層によって前記基板及び前記伸張構造から電気的に分離された第1の導電層を有する一組の層を設ける工程であって、該一組の層の各々が前記主表面に垂直方向のそれぞれの厚さを有し、前記第1の導電層が、該一組の層の該それぞれの厚さにより決定される長さにわたって前記伸張構造に面する部分を有する、ところの一組の層を設ける工程、 を有する製造方法。

IPC (4件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/12 ,  H01L 29/06

FI (7件)：

H01L29/78 652E ,  H01L29/78 653Z ,  H01L29/78 658F ,  H01L29/78 658G ,  H01L29/78 652T ,  H01L29/78 658E ,  H01L29/06 601N

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 国際公開第98/42026号パンフレット