特許

J-GLOBAL ID：200903019392519074

圧電振動子およびその製造方法

発明者： 清水 敏志 ,  大内 啓一
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-138508
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332872
出願日： 2002年05月14日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 落下衝撃等で周波数変化の少ない、信頼性の高い圧電振動子の提供。【解決手段】 周波数調整用の金属膜1の周辺部を残してレーザービームでトリミングすることで周波数調整を行う。振動片2の表面に周波数調整用の金属膜1を有する圧電振動子において、金属膜1の外周が前記振動片の主面の外周部から離間した内側にある圧電振動子。

請求項（抜粋）：

振動片の表面に周波数調整用の金属膜を有する圧電振動子において、前記金属膜の外周が前記振動片の主面の外周部から離間した内側である圧電振動子。

IPC (6件)：

H03H 9/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19

FI (6件)：

H03H 9/02 M ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/19 J ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (8件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108HH04 ,  5J108HH06 ,  5J108KK06 ,  5J108NA03 ,  5J108NB05