特許
J-GLOBAL ID：200903019393389204
合成石英ガラスの熱処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309507
公開番号（公開出願番号）：特開2002-121038
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：
【要約】【課題】合成石英ガラスの仮想温度を低下させる熱処理方法であって、処理時間を短縮し、生産性を高める熱処理方法の提供。【解決手段】合成石英ガラスの仮想温度を低下させるため、初期仮想温度と目標仮想温度の間の温度範囲内で、1以上の中間仮想温度を設定し、合成石英ガラスを中間熱処理温度に対応する中間熱処理温度に保持し、段階的に中間仮想温度を低下させた後、合成石英ガラスを最終熱処理温度に保持することで、目標仮想温度を有する合成石英ガラスを短時間に得る。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスの仮想温度を低下させる合成石英ガラスの熱処理方法であって、初期仮想温度と目標仮想温度との間に、1以上の中間仮想温度を設定し、合成石英ガラスを前記中間仮想温度に対応する中間熱処理温度に保持し、順次段階的に中間仮想温度を低下させた後、最終熱処理温度で保持し、目標仮想温度を得ることを特徴とする合成石英ガラスの熱処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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