特許

J-GLOBAL ID：200903019406344922

スピン処理装置

発明者： 宮迫 久顕 ,  広瀬 治道 ,  佐藤 均 ,  黒川 禎明
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161568
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066099
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 この発明は回転テ-ブを回転させて基板を処理する際に、その基板に微粒子が付着しずらくしたスピン処理装置を提供することにある。【構成】 基板20を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、カップ21と、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸26と、この駆動軸に連結さて回転させられるとともに上面に上記基板が保持される回転テ-ブル27と、上記カップの内底部に設けられ上記回転テ-ブルの回転によって生じる空気等の流れを導入する方向に向かって開口形成された導入部37を有する整流板34と、上記カップの底部に設けられ上記整流板の導入部に流入した空気をカップの外部へ排出する排気管41とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、カップと、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸と、この駆動軸に連結さて回転させられるとともに上面に上記基板が保持される回転テ-ブルと、上記カップの内底部に設けられ上記回転テ-ブルの回転によって生じる空気の流れを導入する方向に向かって開口形成された導入部を有する整流板と、上記カップの底部に設けられ上記整流板の導入部に流入した空気をカップの外部へ排出する排気部とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 361

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-247264
  
• 特開平3-080527