特許
J-GLOBAL ID：200903019408259442
位置合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038506
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206250
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 被処理体を構成する材料が透明、不透明にかかわらず切欠きを正確に検知して位置合わせを行う。【構成】 回転手段50のプンアライメントステージ30に載置した被処理体18の外側端面59にその水平方向のレーザ光送信部54からレーザ光Mを照射し、その反射波をレーザ光受信部56で受けて結像させる。その結像位置すなわち出力は、外側端面59の遠近に応じて変動することから切欠きが測定部を通過したときはその出力が変動するので、制御部58は、この出力信号を処理することにより切欠きの位置を認識することができ、この認識結果及び回転角度検知手段52の出力結果に基づいて回転手段50を駆動し、被処理体18の切欠き18Aを所定の位置に方向付けする。
請求項（抜粋）：
切欠きを有する被処理体を回転させる回転手段と、前記回転手段の回転角度を検知するための回転角度検知手段と、前記被処理体の外側端面にレーザ光を照射するレーザ光送信部と、前記被処理体の外側端面から反射するレーザ光を受信するレーザ光受信部と、前記レーザ光受信部の出力と前記回転角度検知手段の出力とに基づいて前記被処理体の切欠きの位置を認識すると共に、前記認識された切欠きの位置に基づいて前記回転手段を操作することにより前記被処理体の切欠きを所定の位置に方向付けするための制御部とを備えるように構成したことを特徴とする位置合わせ装置。
引用特許：
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