特許

J-GLOBAL ID：200903019416869527

トリクロロモノシランの製造方法

発明者： ベルンハルト プフリューグラー ,  ゲルハルト トラウンシュプルガー ,  ヴァルター グリュンライトナー
出願人/特許権者： ワツカー-ケミー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-112132
公開番号（公開出願番号）：特開2005-298327
出願日： 2005年04月08日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】トリクロロモノシランを製造する廉価な方法を提供する。【解決手段】流動床反応器中で珪素粒子を塩化水素と反応することによりトリクロロモノシランを製造する方法において、珪素粒子として塊状珪素から決められた珪素粒を製造する際に廃物生成物として生じる珪素ダストを使用し、珪素ダストを直接反応器に導入することを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

流動床反応器中で珪素粒子を塩化水素と反応することによりトリクロロモノシランを製造する方法において、珪素粒子として塊状珪素から決められた珪素粒を製造する際に廃物生成物として生じる珪素ダストを使用し、珪素ダストを直接反応器に導入することを特徴とするトリクロロモノシランを製造する方法。

IPC (1件)：

C01B33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (6件)：

4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH40 ,  4G072JJ14 ,  4G072RR17

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 米国特許(US-A)第4092446号
  
• ドイツ特許(DE-A1)第3938897号
  
• ドイツ特許(DE-C2)第3239590号
  
• 英国特許第945618号
  
• 米国特許(US-A1)第0151737号
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-170210
  
• 特開昭54-024832