有機金属化学気相蒸着用原料容器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165835
公開番号（公開出願番号）：特開平5-098445
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】【目的】この発明は、有機金属化合物原料の加熱温度を下げるとともに気化効率を高めることができる有機金属化学気相蒸着用原料容器を得ることを目的とする。【構成】容器本体7には、キャリアガスを流入するキャリアガス流入口8および有機金属化合物原料(MO原料)6の気化されたガスを流出するガス流出口9が設けられている。容器本体7の外周には、加熱ヒータ10が配設されている。容器本体7内には、多孔質体からなり、MO原料6を載置する蒸発皿11が配設されている。

請求項（抜粋）：

キャリアガス流入口、ガス流出口および加熱機構を有する容器本体内に、原料を載置する多孔質体からなる蒸発皿を設けたことを特徴とする有機金属化学気相蒸着用原料容器。

IPC (6件)：

C23C 16/44 , C01B 13/14 ZAA , C01G 3/00 ZAA , C23C 16/40 , H01B 12/06 ZAA , H01B 13/00 565

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-287768
特開平2-172889
特開平3-131018

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