特許
J-GLOBAL ID：200903019425417388
セラミックダイヤフラム構造体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244317
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051238
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤフラム部位における凹みやクラック等の発生が無く、高い固有共振周波数を有する共に、強度に優れ、また、表面に形成される各種の膜の焼結に際しても、それを阻害することの少ない、信頼性の高い薄肉のセラミックダイヤフラム構造体及びそれを有利に製造する方法を提供する。【構成】 少なくとも一つの窓部を有するセラミック基体と、該窓部を覆蓋するように積層された、薄肉のセラミックダイヤフラム板とからなる一体焼成物であって、該窓部において薄肉のダイヤフラム部を一体に形成してなる構造体にして、該ダイヤフラム部を、前記窓部とは反対方向となる外方に凸なる形状とした。また、かかるダイヤフラム構造体を製造する際において、焼成時に、前記ダイヤフラム部を前記窓部とは反対方向となる外方に凸なる形状に突出せしめた。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの窓部を有するセラミック基体と、該窓部を覆蓋するように積層された、薄肉のセラミックダイヤフラム板とからなる一体焼成物であって、該窓部において薄肉のダイヤフラム部が一体に形成されてなる構造体にして、該ダイヤフラム部が、前記窓部とは反対方向となる外方に凸なる形状とされていることを特徴とするセラミックダイヤフラム構造体。
IPC (3件)：
H01L 41/08
, C04B 35/00
, H01L 41/22
H01L 41/08 Z
, C04B 35/00 H
, H01L 41/22 Z
