インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341310
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156399
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】シリコン単結晶基板の異方性エッチングによりスペーサを形成するに際して、エッチング工程と接合工程の簡素化を図ること。【構成】シリコン単結晶の異方性エッチングに使用するエッチング液に耐久性を有し、振動板8の薄肉部37を形成する耐エッチング層が一方の面に形成された結晶方位(110)を有し、スペーサ6の本体となるシリコン単結晶基板を、異方性エッチングして圧力発生室12、13、インク供給口17、18、及びリザーバとなる通孔を形成する。異方性エッチング量は、耐エッチング層で管理されるから安定する。また振動板8とスペーサ6が接着剤レスで、しかもノズルプレート1を接合するだけで流路構成部材を構成できる。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶の異方性エッチングに使用するエッチング液に耐久性を有する耐エッチング層が一方の面に形成された結晶方位(110)を有するシリコン単結晶基板を、異方性エッチングにより圧力発生室、インク供給口、及びリザーバとなる通孔を形成した流路形成部材と、前記圧力発生室に一致したピッチでノズル開口が穿設されたノズルプレートとを接合するとともに、前記圧力発生室を膨張収縮させる圧電振動子を備え、隣接する前記圧力発生室、インク供給口を区画する領域の前記シリコン単結晶基板は、前記ノズル開口側で連続し、また前記リザーバが自由端となるように切り離されており、前記耐エッチング層は、前記圧力発生室に対向する領域に厚肉部からなるアイランド部が形成されて振動板として機能するインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (13件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-345341 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平3-297653
インクジェットヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-115841 出願人：セイコーエプソン株式会社

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