特許
J-GLOBAL ID:200903019435567035

乾式被覆装置の容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 河内 潤二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-164953
公開番号(公開出願番号):特開平8-013130
出願日: 1994年06月24日
公開日(公表日): 1996年01月16日
要約:
【要約】【目的】 イオンプレーティング装置等の乾式被膜装置において、被膜を施すべき処理品や付属治具類の出し入れが簡単、確実に行え、また、強固な構造と密封性能を有しながら軽量であり、内部のメインテナンスも容易な容器を提供する。【構成】 反応容器の一部又は全体を球形とし、球形部2a,9aのほぼ中央部に斜め方向の2分割開放面5を設け、本体と上半分側容器(蓋)9に分け、上半分側容器(蓋)9をアーム10で支持し、かつ斜め方向の2分割開放面5に対し直角方向に開閉可能とし、上半分側容器(蓋)9を支持するアーム10をさらに水平方向に回動可能にする。
請求項(抜粋):
金属材料又はセラミックス等の無機材料の表面に乾式被覆する装置において、前記装置の反応容器は球形部を有し、該球形部のほぼ中央部に斜め方向の2分割開放面を備え、2分割された上半分側容器がアームに支持され、かつ前記斜め方向の2分割開放面に対し直角方向に開閉可能にされていることを特徴とする乾式被覆装置の容器。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-086495

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