特許

J-GLOBAL ID：200903019435636185

耐熱感光性樹脂組成物

発明者： 鍛治 誠 ,  杉浦 実 ,  萩原 秀雄
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-002510
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209862
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 優れた感光性と良好な膜特性を兼ね備えた耐熱感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 一般式(I)【化1】(式中、Xは光により重合または二量化可能な基、R1は(2+p)価の有機基、R2は4価の有機基、Yは例えば、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基等)で示される繰り返し単位を有するポリアミド樹脂および一般式(II)【化2】(式中、R3〜R12は、例えば、水素原子、ハロゲン原子等)で示されるチタノセン化合物を含む耐熱感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】(式中、Xは光により重合または二量化可能な基を表し、R1は(2+p)価の有機基を表し、R2は4価の有機基を表し、pは1又は2の整数を表し、qは0、1または2の整数を表し、Yは水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、R2に結合するCOO-YはR2におけるアミド基に結合した原子の隣の原子に結合し、qが2の場合、もうひとつのCOO-Yがもう一方のアミド基に結合した原子の隣の原子に結合している)で示される繰り返し単位を有するポリアミド樹脂および一般式(II)【化2】(式中、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11およびR12は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基または複素環を表す)で示されるチタノセン化合物を含む耐熱感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28