特許

J-GLOBAL ID：200903019441034413

紫外線硬化型樹脂組成物およびそれを用いたシャドウマスクの製造方法

発明者： 立沢 雅博
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181288
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354730
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【課題】 酸性高温水溶液中でも、エステル結合が加水分解し難い重合性化合物を含有する紫外線硬化型樹脂組成物、および効率的にエッチングでき且つ高品質のシャドウマスクを製造できるシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】 下記の化学式1で表される光重合性化合物と、多官能モノマーと、重合開始剤とを少なくとも含有する紫外線硬化型樹脂組成物によって、上記課題を解決する。この化学式1において、nは0〜3、R′、R′′はHまたはメチル基である。また、本発明のシャドウマスク1の製造方法は、この紫外線硬化型樹脂組成物を用いてバックコート膜8を形成することにより、上記課題を解決する。このとき、70〜100°Cの酸性高温溶液で二次エッチングを行ってた後においても、被エッチング部に異物の析出がみられない。【化1】

請求項（抜粋）：

下記の化学式1で表される光重合性化合物と、多官能モノマーと、重合開始剤とを少なくとも含有することを特徴とする紫外線硬化型樹脂組成物。化学式1において、nは0〜3、R′、R′′はHまたはメチル基である。【化1】

IPC (5件)：

C08F220/00 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/40 521

FI (5件)：

C08F220/00 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/40 521

Fターム (109件)：

2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC34 ,  2H025BC42 ,  2H025BC63 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BJ00 ,  2H025BJ06 ,  2H025CA00 ,  2H025FA39 ,  2H025FA40 ,  2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA18 ,  2H096HA30 ,  4J011AA05 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA27 ,  4J011QA34 ,  4J011QA39 ,  4J011QA42 ,  4J011QB03 ,  4J011QB13 ,  4J011QB14 ,  4J011QB16 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA23 ,  4J011SA24 ,  4J011SA26 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA54 ,  4J011SA64 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AB06 ,  4J027AB15 ,  4J027AB16 ,  4J027AB17 ,  4J027AB18 ,  4J027AB19 ,  4J027AB23 ,  4J027AB24 ,  4J027AB25 ,  4J027AB26 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AE02 ,  4J027AE03 ,  4J027AE07 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA10 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA15 ,  4J027BA19 ,  4J027BA21 ,  4J027BA23 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027BA29 ,  4J027CA31 ,  4J027CA32 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J100AL08P ,  4J100AL62Q ,  4J100AL63Q ,  4J100AL66Q ,  4J100AL67Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA08Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA21Q ,  4J100BC02Q ,  4J100BC75Q ,  4J100CA04 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38