特許
J-GLOBAL ID：200903019446069983
酸化物超伝導薄膜の表面平坦化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001383
公開番号（公開出願番号）：特開平10-200169
出願日： 1997年01月08日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 結晶構造や組成の異なる複数の種類の突出物を含む酸化物超伝導薄膜の表面を、超伝導特性の劣化無しに高度に平坦化でき、膜厚の制御性にも優れた方法を提供する。【解決手段】 結晶構造や組成の異なる複数の種類の突出物を含む酸化物超伝導薄膜の表面平坦化方法であって、該薄膜表面上にコーティング剤を基板表面に平行に塗布して平坦面を形成し、次いで、該平坦面に平行な面内で基板を回転させた状態で、入射角を基板表面に対して0度以上45度未満とするイオンビームにより前記平坦面をエッチバックすることによって前記薄膜表面を平坦化する方法。
請求項（抜粋）：
薄膜表面から突出する、結晶構造や組成の異なる複数の種類の突出物を含む酸化物超伝導薄膜の表面平坦化方法であって、該薄膜表面上にコーティング剤を基板表面に平行に塗布して平坦面を形成し、次いで、該平坦面に平行な面内で基板を回転させた状態で、入射角を基板表面に対して0度以上45度未満とするイオンビームにより前記平坦面をエッチバックすることによって前記薄膜表面を平坦化することを特徴とする酸化物超伝導薄膜の表面平坦化方法。
IPC (4件)：
H01L 39/02 ZAA
, C30B 29/22 501
, C30B 33/12
, H01L 39/24 ZAA
H01L 39/02 ZAA B
, C30B 29/22 501 P
, C30B 33/12
, H01L 39/24 ZAA B
