特許
J-GLOBAL ID：200903019454168990
カラーフィルタの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-297296
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128519
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 カラー液晶ディスプレイ等に用いた場合、耐光性が高く、かつ、その表示画像を高精細化できるとともに、その画質の向上及び、生産効率(歩留り)の向上を図ることができるカラーフィルタの製造方法を提供する。【構成】 金属または金属酸化物によりブラックマトリックスを形成した後に、ミセル電解法によって一つの色の色素膜を製膜し、その上に光硬化性レジストを積層、パターン化し、未露光部分の光硬化性レジスト及び色素膜をエッチングにより除去して一つの色の色素層を形成し、残りの色の色素についても同様の工程を繰り返して、複数色の色素パターンを形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に複数色の色素層を分離して形成、配置し、所定の色素パターンを形成するとともに、ブラックマトリックスを形成するカラーフィルタの製造方法において、a)絶縁性基板上の少なくとも複数色の色素層の形成される領域に対応する部分を含む全面に、透明導電性薄膜を成膜する工程、b)透明導電性薄膜上の少なくとも複数色の色素層およびブラックマトリックスの形成される領域を含む全面に、金属または金属酸化物薄膜を成膜する工程、c)金属または金属酸化物薄膜上に光硬化性レジストを積層し、フォトリソグラフィー法によってブラックマトリックスの形状に光硬化性レジストのパターンを形成し、次いで、下地の露出した部分の金属または金属酸化物薄膜をエッチングによって除去してブラックマトリックスを形成する工程、d)露出した透明導電性薄膜上に複数色から選択した一つの色の色素膜をミセル電解法によって製膜する工程、e)一つの色の色素膜の上に光硬化性レジストを積層し、一つの色の色素層に対応したマスクを用いて露光し、かつ露光部の熱処理の前及び/又は後に未露光部分の光硬化性レジスト及び色素膜をエッチングによって除去して、一つの色の色素層を形成、配置する工程、f)前記工程d)及びe)と同様の工程をさらに一回以上繰り返して、複数色の残りの色の色素層を、透明導電性薄膜の全面又は一部にそれぞれ分離して形成、配置し、複数色の色素パターンを形成する工程、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 515
