特許

J-GLOBAL ID：200903019455424095

レーザ冷却装置及びレーザ装置

発明者： 上野 政幸
出願人/特許権者： ミヤチテクノス株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016961
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186380
出願日： 1996年01月04日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 大幅な小型化と信頼性の高い温調制御を実現する。【解決手段】 タンク44の内部は、隔壁52によって熱交換室54と貯水室56とに2分割されている。隔壁52の上の隙間62を介して熱交換室54と貯水室56とは互いに連通している。熱交換室54および貯水室52の底面付近にはそれぞれ純水導入口34および純水排出口36が設けられている。タンク44は隔壁52と対向する熱交換室54の側壁を除いて、断熱性の部材たとえばアクリル樹脂からなっている。吸熱板64の背面側には熱電変換方式のサーモモジュール68を挟むようにして放熱板70が配置されている。サーモモジュール68の吸熱部CJは吸熱板64に熱的に結合され、サーモモジュール68の発熱部HJは放熱板70に熱的に結合されている。放熱板70の外側面には放熱フィン72が一体に取り付けられている。

請求項（抜粋）：

レーザ装置のレーザ発振部に循環供給される冷却媒体を温調するためのレーザ冷却装置において、互いに連通する第1および第2の室を有するタンクと、前記レーザ発振部からの前記冷却媒体を導入するために前記タンクの第1の室に設けられた冷却媒体導入口と、前記第1の室内を通過する前記冷却媒体から熱を吸収するための熱伝導率の高い吸熱部材と、温調電気量に応じて熱電変換により熱を吸収する吸熱部と熱を発生する発熱部とを有し、前記吸熱部が前記吸熱部材に熱的に結合されている熱電変換方式のサーモモジュールと、前記温調電気量を前記サーモモジュールに供給する温調用電源回路と、前記サーモモジュールの前記発熱部に熱的に結合されている熱伝導率の高い放熱部材と、温調された前記冷却媒体を排出するために前記タンクの第1の室に設けられた冷却媒体排出口と、を具備することを特徴とするレーザ冷却装置。

IPC (3件)：

H01S 3/042 ,  F25B 21/02 ,  F25D 9/00

FI (3件)：

H01S 3/04 L ,  F25B 21/02 B ,  F25D 9/00 B