画像比較によるパターン検査方法およびその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193676
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022935
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】微細なパターン上に生じた微細な欠陥を見落としすることなく正確に検査できるようにする。【解決手段】被検査物10上における所望の帯状検査領域から連続的に検出される検出デジタル画像信号の比較対象となる参照デジタル画像信号を生成する生成過程と、順次切り出されたブロック単位領域毎の両画像信号の間のマッチング位置候補を0個以上求めて前記帯状検査領域に亘ってのマッチング位置候補の集合を算出するマッチング位置候補算出過程と、該算出された帯状検査領域に亘ってのマッチング位置候補の集合からブロック単位領域間の連続性に基いて各ブロック単位領域毎の両画像信号の間の確かなマッチング位置を決定するマッチング位置決定過程と、該決定した各ブロック単位領域毎の確かなマッチング位置に基いて位置合わせをして画像比較により欠陥判定を行う画像比較過程とを有する。

請求項（抜粋）：

被検査物上における所望の帯状検査領域から連続的に検出されて入力される検出画像信号をA/D変換して階調値を有する検出デジタル画像信号に変換し、この変換された検出デジタル画像信号の比較対象となる参照デジタル画像信号を生成する生成過程と、該生成過程で生成された検出デジタル画像信号および参照デジタル画像信号の各々を基に、前記帯状検査領域を複数に分割したブロック単位領域毎の検出デジタル画像信号および参照デジタル画像信号の各々を順次切り出す切り出し過程と、該切り出し過程で順次切り出されたブロック単位領域毎の両画像信号の間のマッチング位置候補を0個以上求めて前記帯状検査領域に亘ってのマッチング位置候補の集合を算出するマッチング位置候補算出過程と、該マッチング位置候補算出過程で算出された帯状検査領域に亘ってのマッチング位置候補の集合からブロック単位領域間の連続性に基いて各ブロック単位領域毎の両画像信号の間の確かなマッチング位置を決定するマッチング位置決定過程と、該マッチング位置決定過程で決定した各ブロック単位領域毎の確かなマッチング位置に基づく、少なくとも各ブロック単位領域毎に前記検出デジタル画像信号と参照デジタル画像信号との間の位置合わせによる画像比較に基いて欠陥判定を行う画像比較過程とを有することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (3件)：

G06F 15/62 405 A , H01L 21/66 J , G01N 21/88 645 A

Fターム (33件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BA20 , 2G051CA20 , 2G051DA07 , 2G051EA04 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA20 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC06 , 2G051ED07 , 2G051ED15 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ04 , 4M106DJ17 , 5B057AA03 , 5B057BA01 , 5B057CC02 , 5B057CE09 , 5B057CH11 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC33

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