特許
J-GLOBAL ID：200903019464542947
レジスト供給装置およびレジスト塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158507
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008177
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 膜厚に応じて粘度が調整されたレジストを供給する装置を提供する。【解決手段】 レジスト供給装置1は、レジスト原液の粘度を調整する粘度調整手段2と、粘度調整手段2に接続され、適正粘度に調整されたレジストを供給する管路6a、ノズル3とを備える。
請求項（抜粋）：
レジスト原液の粘度を調整する粘度調整手段と、前記粘度調整手段に接続され、適正粘度に調整されたレジストをウエハ上に供給するレジスト供給手段とを備えた、レジスト供給装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 564 D
, H01L 21/30 564 Z
