細胞用薬液注入器

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-150931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337177
出願日： 1997年06月09日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】細胞に薬液を注入するための細孔の開口径が均一であり、また、歩留まりの良い細胞用薬液注入器を提供する。【解決手段】半導体製造技術に従い、シリコン基板11に薬液の流れる流路13が設けられ、該流路13の底部には第1電極14が配置される。また、ガラス基板12には薬液の出口となる細孔16が設けられ、その周囲には第2電極が配置される。シリコン基板11とガラス基板12は、流路13がガラス基板12で覆われるように、且つ、細孔16と第1電極が対向するように接合される。

請求項（抜粋）：

溝状の流路及び該流路の少なくとも一部に設けられた第1電極とを有する第1基板と、前記流路を覆って配置される第2基板を有し、前記第2基板には前記第1電極上の一部に細孔を有し、該細孔の周囲には第2電極が配置されることを特徴とする細胞用薬液注入器。

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