特許
J-GLOBAL ID：200903019477161292
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121884
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310534
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【目的】 角速度の検出感度を低下することなく小型化を実現した角速度センサを提供することにある。【構成】 目的を達成すめために、励振電極に交流電圧を印加すると、第1の枝部がねじれ振動し、この振動によって第1の枝部に連なる一対の枝部が、Z-X平面に平行に反復移動する。この状態で、X軸の回りに回転角速度が作用すると、コリオリの力がY軸方向に働き、その結果 一対の枝部がY軸方向成分をもって振動し、この振動によって生ずる電荷が検出電極より取り出され、この取り出された電荷量に基づいてX軸の回りに作用する回転角速度の大きさが検出できる角速度センサを構成することが可能となる。なお、励振電極および検出電極を隔離(同一枝部上に配置しない)することで、小型化しても角速度の検出感度を効率取り出すことが可能となり課題を解決するものである。
請求項（抜粋）：
Y軸方向に延びる第1の枝部と、前記第1の枝部の+X面から60度の傾きを持って+X軸方向に延びる第2の枝部と、前記第2の枝部にX軸対称に配置された第3の一対の枝部とを備えた水晶振動子素子と、前記第1の枝部の枝面に形成された励振電極により、交流電圧の印加を受けて前記第1の枝部をY軸回りにねじれ振動を励振させ、この励振された振動運動によって前記第2と第3の枝部をZ-X平面に平行な振幅をもって振動させ、前記第2と第3の枝部の根元部の60度の傾きを持たせた枝面に形成された検出電極により、前記第2の枝部と第3の枝部がZ-X平面に平行に反復振動しているとき、前記水晶振動子素子がX軸の回りに回転した場合、前記第2の枝部と、第3の枝部に働くコリオリの力により発生するZ-X平面に垂直方向の振動成分による屈曲振動によって生ずる電荷を取り出す検出構造とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105BB03
, 2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CC04
, 2F105CC20
, 2F105CD02
, 2F105CD06
