特許
J-GLOBAL ID：200903019479527235
圧力センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275098
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111431
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【解決手段】 ダイヤフラム1と、その変位によって変形する部材2とを有し、該部材2が、第1の接続部材101を介してダイヤフラムに、第2の接続部材102を介してフレーム3に接続され、変形可能な部材2の変形を検出する変形測定装置11を有し、第1の接続部材101が、第1の方向zで不動で、第2の方向yでフレキシブルであって、第2の接続部材102が第1の方向z及び第2の方向yで不動な圧力センサ装置において、第1の接続部材101と第2の接続部材102とが、熱膨張が同じで、厚さよりも著しく大きい高さ及び幅を有する材料より成る第1及び第2の支持プロフィールより成っており、これらの支持プロフィールが、それぞれ厚さ方向でのみフレキシブルである。【効果】 ダイヤフラムと変形可能な部材との間が構造的に最適に合致されているので、種々異なる熱膨張によって、信号に不都合な影響が与えられることがない。
請求項（抜粋）：
圧力センサ装置であって、フレーム(3)内にはめ込まれたダイヤフラム(1)が設けられていて、該ダイヤフラム(1)が、圧力が加えられることによって、このダイヤフラム(1)に対して直角な第1の方向(z)に変位可能であって、ダイヤフラム(1)に対して平行に延びる第2の方向(y)に取り付けられた、ダイヤフラム(1)の変位によって変形可能な部材(2)が設けられていて、該変形可能な部材(2)が、第1の接続部材(101)を介して前記ダイヤフラム(1)に接続され、第2の接続部材(102)を介して前記フレーム(3)に接続されており、前記変形可能な部材(2)の変形を検出するために、この変形可能な部材(2)に接続された変形測定装置(11)が設けられており、第1の接続部材(101)が、第1の方向(z)で不動に構成されていて、第2の方向(y)でフレキシブルに構成されており、第2の接続部材(102)が第1の方向(z)及び第2の方向(y)で不動に構成されている、形式のものにおいて、第1の接続部材(101)と第2の接続部材(102)とが、熱膨張が同じで、厚さよりも著しく大きい高さ及び幅を有する材料より成る第1の支持プロフィール及び第2の支持プロフィールより成っており、これらの第1及び第2の支持プロフィールが、それぞれ厚さ方向でのみフレキシブルである、ことを特徴とする圧力センサ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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