特許

J-GLOBAL ID：200903019480262180

高純度ガスの配管路での不動態化処理方法

発明者： 小池 国彦 ,  井上 吾一
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社
代理人 (1件)： 北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-005327
公開番号（公開出願番号）：特開平9-195031
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 溶接部分まで不動態化処理して、高純度を維持したままガスを使用装置に供給できる高純度ガスの供給路を提供する。【解決手段】 高純度ガス供給配管路を配管した後、配管内部に高濃度オゾンガスを封入して高純度ガス配管路の内面での接ガス面を不動態化処理する。

請求項（抜粋）：

高純度ガス供給源と高純度ガス使用装置とを接続する配管路を接続配管した後、配管内部に高濃度オゾンガスを封入して高純度ガス配管路の内面での接ガス面を不動態化処理するようにした高純度ガスの配管路での不動態化処理方法。

IPC (4件)：

C23C 8/14 ,  C21D 1/76 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

C23C 8/14 ,  C21D 1/76 F ,  C21D 1/76 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B