特許
J-GLOBAL ID：200903019482923672
ゲートバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066542
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272662
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【目的】 真空処理装置の真空チャンバーに設けて物品出し入れの窓を構成するゲートバルブに関し、開閉回数が多くなっても気密閉塞が確実であり、また、窓に留まっている物品の有無が検出できるようにすることを目的とする。【構成】 開口2(窓)を有するフランジ1が弁座となり、弁体3が弁棒4の閉作動により開口2上に移動しOリング5の介在により開口2を気密に閉塞するものとし、弁棒4は先端に弁体支持部材6を結合し、弁体3は、平行等長の2個のリンク7aが対をなすリンク機構7により弁体支持部材6に支持されて、弁体支持部材6とフランジ1との間で弁体主面をフランジ1の面と平行に保ち、閉作動途上で弁棒4閉作動方向の移動がストッパ8により停止してフランジ1の面に対し垂直方向にOリング5を圧縮する。また、フランジ1は、貫通孔1aを設け、貫通孔1aを埋め込んで光束が開口2と交差する光センサー9を配設する。
請求項（抜粋）：
物品を通過させる開口(2)を有するフランジ(1)が弁座となり、該開口(2)の側方に位置する弁体(3)が弁棒(4)の閉作動により該開口(2)上に移動しOリング(5)の介在により該開口(2)を気密に閉塞するゲートバルブであって、該弁棒(4)は、先端を該開口(2)に向けて該フランジ(1)と平行に配置されて該閉作動が該開口(2)に近づく軸方向移動であり、該先端に該弁棒(4)と移動を共にする弁体支持部材(6)が結合されており、該弁体(3)は、リンク機構(7)を介し該弁体支持部材(6)に支持されて該弁体支持部材(6)と該フランジ(1)との間に間隙を設けて配置され、該リンク機構(7)は、一端が該弁体支持部材(6)に軸支され他端が該弁棒(4)の閉作動方向の側に変位して該弁体(3)に軸支されて、該フランジ(1)の面に垂直で該弁棒(4)の作動方向に平行な平面上を揺動する、互いに平行で且つ長さの等しい2個のリンク(7a)が対をなして、該弁体(3)の該フランジ(1)と対向して該開口(2)を閉塞する主面を該フランジ(1)の面と平行に保ちながら、該弁体(3)が拘束されない際に該弁体(3)の背面を該弁体支持部材(6)に当接させ、該弁体(3)が該弁棒(4)の閉作動方向と反対方向に押された際に該弁体(3)を該弁体支持部材(6)から次第に離間させるものであり、該弁棒(4)の閉作動により該弁体主面が該開口(2)の正面に達した該弁体(3)に対し、該弁棒(4)の閉作動方向の移動を停止させるストッパ(8)が配置されていることを特徴とするゲートバルブ。
IPC (3件)：
F16K 51/02
, F16K 3/18
, H01L 21/68
