特許

J-GLOBAL ID：200903019484263092

赤外線エリプソメータ

発明者： ベルナール ドレヴィロン ,  アドルフォ カニーリャス ビオスカ
出願人/特許権者： サントル ナシオナル ド ラ ルシェルシュ シアーンティフィク
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000315
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264355
出願日： 1993年01月05日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】試料測定用の赤外線エリプソメータに関する。【構成】一群の励起手段は、光源101、マイケルソン型干渉計103、偏光子105、光源101と試料1とを結び付ける光学手段107から成る。一群の励起手段は、偏光子-検光子701、検出器703、試料1と検出器703を結びつける光学手段705から成る。本赤外線エリプソメータは、位相変調器8を備える。電子的手段9は、変調器8及びマイケルソン型干渉計103を制御し、検出器703によって発生される信号を受信する。

請求項（抜粋）：

一群の励起手段(3)、試料支持体(5)、一群の解析手段(7)、及び一群の励起手段(3)を制御し、前記一群の解析手段(7)からの信号を受け、測定値を発生する電子的手段(9)からなり、前記一群の励起手段は、光源(101)、マイケルソン型干渉計(103)、偏光子(105)、及び前記光源(101)と試料(1)とを結び付ける光学手段(107)から成り、前記一群の解析手段(7)は、偏光子-検光子手段(701)、光検出器(703)、及び試料(1)と検出器(703)を結び付ける光学手段(705)から成る試料測定用の赤外線エリプソメータにおいて、位相変調器(8)を有し、前記電子的手段(9)が前記変調器(8)及び前記マイケルソン型干渉計(103)を制御し、前記光検出器(703)を介して発生された信号を受信することを特徴とする試料測定用の赤外線エリプソメータ。

IPC (2件)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-132936
  
• 特開平3-110405
  
• 特開昭63-168541
  
• 特開平1-143931
  

審査官引用 (8件)

• 特開平1-132936
  
• 特開平1-132936
  
• 特開平3-110405
  
• 特開平3-110405
  
• 特開昭63-168541
  
• 特開昭63-168541
  
• 特開平1-143931
  
• 特開平1-143931