特許
J-GLOBAL ID：200903019486222504
液体原料気化供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300197
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 液体原料を簡便かつ安定に気化供給できる液体原料気化供給装置を提供する。【構成】 液体流量制御器103によって、タンク102から流量制御して液体原料101を気化器106に供給する。気化器106内には、液体原料を気化するための発熱抵抗体107を設けておく。発熱抵抗体107は、望ましくは多孔質として液体との接触面積を大きくする。
請求項（抜粋）：
液体原料を気化して供給するための液体原料気化供給装置であって、内部で発生した気体を排出するための気体排出口を有する気化器と、前記気化器に流量を制御しながら前記液体を導入する液体導入手段と、前記気化器内に設けられた発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体に電力を供給する電力供給手段とを有すること特徴とする液体原料気化供給装置。
引用特許：
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