特許

J-GLOBAL ID：200903019490293556

光ファイバを用いた物理量検出装置および物理量検出方法

発明者： 廣瀬 浩二 ,  角谷 久子
出願人/特許権者： 株式会社共和電業
代理人 (1件)： 真田 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-178938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372472
出願日： 2001年06月13日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】 物理量検出センサの温度影響を補償して高精度で物理量計測可能な光ファイバを用いた物理量検出装置を提供する。【解決手段】 発光素子モジュール1と温度保持取付具8とで2重に温度制御された発光素子2の発光光を第1光ファイバカプラ13で信号光用光ファイバ12と参照光用光ファイバ16に分岐させ、信号光用光ファイバ12に導波された発光光は物理量検出センサ15の信号光部15aに照射し、その反射光を信号光用光ファイバ12、第1光ファイバカプラ13経由で信号検出用光検出器17で計測信号に変換する。参照光用光ファイバ16に分岐された発光光は第2光ァイバカプラ19経由で物理量検出センサ15の参照光部15bに照射し、その反射光を参照光用光ファイバ16、第2光ファイバカプラ19経由で参照信号用光検出器22で参照信号に変換する。

請求項（抜粋）：

発光素子およびこの発光素子に対して吸熱あるいは発熱作用を及ぼす第1ペルチェ素子を内蔵して所定の第1温度を保持する発光素子モジュールと、物理量に応じて変位する信号光部および物理量に対して変位しない参照光部とを有する物理量検出センサと、上記物理量検出センサの上記信号光部に対向して間隙を隔てて出射端が配置され、上記発光素子の発光光を導波して上記信号光部に照射し、かつ上記信号光部からの反射光を入射して導波する信号光用光ファイバと、上記物理量検出センサの上記参照光部と所定の間隙を隔てて出射端が配置され、上記発光素子の発光光を導波して上記参照光部に照射し、かつ上記参照光部からの反射光を入射して導波する参照光用光ファイバと、上記発光素子の発光光を上記信号光用光ファイバと上記参照光用光ファイバに分岐するとともに、上記信号光用光ファイバで導波された上記信号光部からの反射光を導波する第1光ファイバカプラと、上記第1光ファイバカプラで分岐された上記発光素子の発光光を上記参照光用光ファイバに導波させるとともに、上記発光素子のドライバ用として分岐させ、かつ上記参照光用光ファイバで導波された上記参照光部からの反射光を導波する第2光ファイバカプラと、上記第1光ファイバカプラで導波された上記信号光部からの反射光を受光して上記物理量に応じた計測信号に変換する信号検出用光検出器と、上記物理量検出センサと上記参照光用光ファイバとにかかる温度変化量による上記参照光部の熱膨張による変位に対応する反射光を上記参照光用光ファイバおよび上記第2光ファイバカプラを経由して受光して参照信号に変換する参照信号用光検出器と、上記第2光ファイバカプラで上記発光素子のドライバ用として分岐された上記発光素子の発光光を受光して発光素子のドライバ信号に変換するドライバ信号用光検出器と、上記発光素子モジュール、上記第1光ファイバカプラ、上記第2光ファイバカプラ、上記信号検出用光検出器、上記参照信号用光検出器、上記ドライバ信号用光検出器等の光学部品を取着して第2ペルチェ素子により所定の第2温度を保持する光学部品温度保持用取着部材と、を備えることを特徴とする光ファイバを用いた物理量検出装置。

IPC (3件)：

G01L 9/00 ,  G01B 11/00 ,  G01L 1/24

FI (3件)：

G01L 9/00 B ,  G01B 11/00 B ,  G01L 1/24 A

Fターム (26件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD20 ,  2F055EE31 ,  2F055FF02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065BB01 ,  2F065CC00 ,  2F065EE02 ,  2F065FF44 ,  2F065FF46 ,  2F065FF70 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL02 ,  2F065NN02 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ42