特許

J-GLOBAL ID：200903019491441451

高感度の高解像度i-線ホトレジスト

発明者： ノルベルト ミュンツェル ,  ラインハルト シュルツ ,  ハインツ ホルツヴァルト ,  シュテファン イルク
出願人/特許権者： チバ-ガイギー アクチエンゲゼルシャフト ,  オーシージー ミクロエレクトロニクス インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144327
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067433
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 輻射線感受性光酸発生剤としてのオキシムスルホネートの使用方法を提供する。【構成】 アルカリ性媒体中で現像可能であり且つ340ないし390ナノメーターの範囲内の波長の輻射線に対して感受性である化学的に増幅されたホトレジスト中の輻射線感受性光酸発生剤としての、所定構造のオキシムスルホネート〔例えば、α-(4-トシルオキシイミノ)-4-メトキシベンジルシアニド及びα-(トシルオキシイミノ)-4-チエニルシアニド〕の使用方法。【効果】 高感度で高解像度の、化学的に増幅されたポジティブ機能性及びネガティブ機能性ホトレジストを容易に得ることができる。

請求項（抜粋）：

アルカリ性媒体中で現像可能であり且つ340ないし390ナノメーターの範囲内の波長の輻射線に対して感受性である化学的に増幅されたホトレジスト中の輻射線感受性光酸発生剤としての、次式(1):【化1】〔式中、Rはナフチル基、次式:【化2】で表わされる基を表わし;Arは非置換アリール基;又はニトロ基,クロロ基,ブロモ基,ヒドロキシル基,炭素原子数1ないし4のアルキル基,炭素原子数1ないし4のパーフルオロアルキル基,炭素原子数1ないし4のアルコキシ基及び酸分解可能な置換基からなる群から選択された置換基1個又はそれより多くを有するアリール基を表わし;R0 はR1 -X基又はR2 の何れかを表わし;Xは酸素原子又は硫黄原子を表わし;R1 は水素原子、炭素原子数1ないし4のアルキル基、又は非置換フェニル基;若しくはクロロ基,ブロモ基,炭素原子数1ないし4のアルキル基及び炭素原子数1ないし4のアルコキシ基からなる群から選択された基によって置換されたフェニル基を表わし;そしてR2 は水素原子、炭素原子数1ないし4のアルキル基又は酸分解可能な置換基を表わす〕で表わされるオキシムスルホネートの使用方法。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 ,  C07C309/28 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027 ,  C07D333/24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-154266
  
• 特開平2-161444
  
• 特開平1-124848
  
• 特開平4-134347