特許
J-GLOBAL ID：200903019491700643
走査型プローブ顕微鏡の圧電体変位振幅検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313326
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166394
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】この発明は、XY走査やZ制御の変位振幅を圧電体変位センサで検出してその振幅電圧を設定したり、XY走査やZ制御の変位振幅を圧電体変位センサで検出してその変位振幅を表示設定することを特徴とする。【構成】マイクロコンピュータ22は、Z制御部23、X制御部24、Y制御部25を介してXYZ駆動用圧電体28を3次元方向に制御すると共に、Z制御データを試料8の凹凸データとして、ホストコンピュータ21へ転送する。XYZ駆動用圧電体28下端の鏡体31には、X変位検出センサ33、Y変位検出センサ34が設けられる。X制御部24は、X走査D/A変換器24a、XオフセットD/A変換器24b、X変位A/D変換器24c、加算器24dから成る。Y制御部25は、Y走査D/A変換器25a、YオフセットD/A変換器25b、Y変位A/D変換器25c、加算器25dから成る。
請求項（抜粋）：
プローブまたは試料を微動させる圧電体と、この圧電体のXY方向の変位を検出する、少なくとも一方向の変位検出手段と、上記変位検出手段から検出された信号に応じて、上記圧電体をXY方向に走査変形させる走査電圧の振幅を設定する、少なくとも一方向の走査振幅設定手段と、上記走査振幅設定手段により振幅設定されたXY方向の走査電圧を発生する、少なくとも一方向の走査電圧発生手段とを具備し、上記走査振幅設定手段は、測定前に予備走査を少なくとも1回行いながら、少なくとも一方向の走査電圧の振幅を設定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の圧電体変位振幅検出装置。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
