特許
J-GLOBAL ID：200903019501197899
冷却クランプ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289535
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102288
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 クランプアーム操作機構に基板押し付け力の調整機能を持たせ、構造を簡素化すること。【構成】 被処理基板1を冷却ステージ2に固定するクランプアーム3は、流体シリンダ装置12で操作される。シリンダ装置のハウジング13内に二重のベローズ141、142を設け、各ベローズの端部は、クランプアーム操作シャフト5が結合されている受圧板15に取り付ける。空気を導入孔17から両ベローズ内に供給するとベローズは伸び、クランプアームは基板を冷却ステージに固定する。空気圧の調整により基板の押し付け力を制御でき、冷却ステージへの熱伝達を良好にすることができる。導入口18から空気を供給することにより、基板の固定を解除する。
請求項（抜粋）：
被処理基板を冷却ステージにクランプする冷却クランプ装置において、クランプアームと、このクランプアームの操作シャフトを駆動する装置であって、ハウジングと、このハウジング内に設けられて前記操作シャフトに結合した二重のベローズとを有し、この二重のベローズ内及び前記ハウジング内に流体が供給される流体シリンダ装置とを備えたことを特徴とする冷却クランプ装置。
IPC (2件)：
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