特許
J-GLOBAL ID：200903019509365731
追尾式レーザ干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
松浦 憲三 (外1名)
, 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120213
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】回転体の回動中心がブレても測定誤差が生じないようにし、これにより移動体を追尾しながらその移動体の変位や位置を高精度に測定可能にする。【構成】X軸とY軸とが交差する位置に逆反射体106を固定配設し、この逆反射体106を中心にX軸及びY軸の回りにそれぞれ回動自在な回転部108を設ける。この回転部108に設けられた光学系は、レーザ光源から回転部に導かれたレーザビームを分割し、一方のレーザビームを前記X軸と直交する光路を経由して逆反射体106に入射させるとともに、他方のレーザビームを前記光路の延長上に出射し、移動体に配設される逆反射体110に入射させる。そして、逆反射体106、110からの反射光の干渉に基づいて逆反射体110の変位量を検出するようにしてる。上記変位量の検出に際し、回転体108の回動中心がブレても、逆反射体106に入射するレーザビームと、逆反射体110に入射するレーザビームとは同一直線上にあるため光路差が変化せず、測定誤差として現れることがない。
請求項（抜粋）：
固定位置に配設された第1の逆反射体と、移動体に配設された第2の逆反射体と、前記第1の逆反射体を中心に直交するX軸及びY軸の回りにそれぞれ回動自在な回転部と、レーザ光源から発振されたレーザビームを前記回転部の回動にかかわらず該回転部に導く手段と、前記回転部に固定配設された複数の光学部品からなる光学系であって、前記回転部に導かれたレーザビームを分割し、分割した一方のレーザビームを前記X軸と直交する光路を経由して前記第1の逆反射体に入射させるとともに、他方のレーザビームを前記光路の延長上に出射して前記第2の逆反射体に入射させ、前記第1及び第2の逆反射体からの反射光をそれぞれ得る光学系と、前記光学系を介して得られる2つの反射光の干渉に基づいて前記第2の逆反射体の移動量を検出する検出部と、前記回転部に固定配設され、前記第2の逆反射体からの反射光の一部が入射され、前記第2の逆反射体に入射するレーザビームのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段と、前記位置検出手段からの位置信号に基づいて前記ずれ量がゼロになるように前記回転部のX軸及びY軸回りの回動位置を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計。
IPC (2件)：
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