特許
J-GLOBAL ID：200903019516508742
パターン検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047310
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249047
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】パターンの検査装置に関し、特にプリント配線板のパターン検査などに用いるパターン検査装置の改善を目的とする。【構成】被検査対象16に光Lを照射する光源10と、前記被検査対象16上に前記光Lを走査させる光走査手段11と、前記被検査対象16を移動させる移動手段12と、前記被検査対象16からの反射光RLの位置を検出する光検出手段13と、前記光検出手段13によって検出された反射光RLの位置に基づいて前記被検査対象16の配線パターンを認識し、かつ前記被検査パターンの検査に係る画像処理をする画像処理手段14を具備するパターン検査装置において、前記移動手段12及び画像処理手段14に接続され、前記画像処理手段14の処理状態に基づいて前記被検査対象16の移動速度を調整する移動速度調整手段15を設けることを含み構成する。
請求項（抜粋）：
被検査対象(16)に光(L)を照射する光源(10)と、前記被検査対象(16)上に前記光(L)を走査させる光走査手段(11)と、前記被検査対象(16)を移動させる移動手段(12)と、前記被検査対象(16)からの反射光(RL)の位置を検出する光検出手段(13)と、前記光検出手段(13)によって検出された反射光(RL)の位置に基づいて前記被検査対象(16)の被検査パターンを認識し、かつ前記被検査パターンの検査に係る画像処理をする画像処理手段(14)を具備するパターン検査装置において、前記移動手段(12)及び画像処理手段(14)に接続され、前記画像処理手段(14)の処理状態に基づいて前記被検査対象(16)の移動速度を調整する移動速度調整手段(15)を設けたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
, H05K 3/00
