ダイヤモンド質粒子形成法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323557
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172090
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、粒度幅が狭いうえに粗大粒子の混入がほぼ完全に除去された、精度および信頼性の高い、ミクロン級ダイヤモンド質研摩材の効率的な製造法を提供することを目的とする。【構成】ガス状のケイ素化合物の分解によりケイ素の不定形微粒子を生成させ、さらにこの微粒子上に、炭素質原料ガスからの気相析出法によりダイヤモンド乃至ダイヤモンド状炭素を析出させることを特徴とする、ダイヤモンド質粒子形成法。

請求項（抜粋）：

ガス状のケイ素化合物の分解によりケイ素の不定形微粒子を生成させ、さらにこの微粒子上に、炭素質原料ガスからの気相析出法によりダイヤモンド乃至ダイヤモンド状炭素を析出させることを特徴とする、ダイヤモンド質粒子形成法。

IPC (2件)：

C30B 29/04 , C09K 3/14

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-286912
特開昭63-156009
特開昭56-169118

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審査官引用 (5件)

特開平1-286912
特開昭63-156009
特開昭56-169118

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