特許
J-GLOBAL ID：200903019523361463
感光性樹脂組成物及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-167078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339081
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【構成】光重合性樹脂と光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物において、前記光重合性樹脂がカルボキシル基含有樹脂とα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物との付加生成化物であって、その酸価が50〜200であることを特徴とする感光性樹脂組成物、及び前記カルボキシル基含有樹脂をエチレン性不飽和酸モノマーとその共重合モノマーとをアルコール性溶媒に溶解し、それを熱重合開始剤の存在下で熱重合し、それにα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物を付加して製造した光重合性樹脂を含有する感光性樹脂組成物の製造方法。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物に要求される耐熱性、耐薬性に優れ、かつ基板との密着性等の各種特性に優れ、しかも水や希アルカリ水溶液による現像が可能であるところから、銅配線パターンのエッチング用レジスト、ドライフィルムレジスト、ソルダレジスト等の多種類の用途に、作業環境及び自然環境に悪影響を与えることなく使用ができる。
請求項（抜粋）：
光重合性樹脂と光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物において、前記光重合性樹脂がカルボキシル基含有樹脂とα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物との付加生成化物であって、その酸価が50〜200の樹脂であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/027 515
, G03F 7/038 503
G03F 7/027 515
, G03F 7/038 503
