慣性基準質量としてペイロードを使用するアクティブ振動絶縁のためのアクチュエータ配置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠彦 , 大貫進介 , 伊東忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-550387
公開番号（公開出願番号）：特表2007-522393
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

ペイロード(57)をアース動作から絶縁させるアクティブ振動絶縁のためのシステム及び方法である。システムは、本体(16;51)と、少なくとも1つのバネ(45)を用いて本体(51)により支持される質量(41)と、少なくとも1つの更なるバネ(43)を用いて質量(41)により支持される更なる質量(39)とを有する。センサが、質量(41)と更なる質量(39)との間の距離を感知し、距離信号を生成する。コントローラ(49)は、距離信号を受信して、距離信号に基づいた制御信号を生成する。アクチュエータ(47)は、制御信号に基づいて質量(41)の位置を作動させ、一方、更なる質量は、アース(16)から絶縁されるべきペイロードを支持する。

請求項（抜粋）：

ペイロードをアース動作から絶縁させるよう構成されるアクティブ振動絶縁システムにおいて、前記ペイロードは、少なくとも1つのバネにより支持され、該アクティブ振動絶縁システムは、前記ペイロードの変位を感知し、変位信号を生成するセンサと、前記変位信号を受信し、前記変位信号に基づいた制御信号を生成するコントローラと、前記制御信号に基づいて作動力を生成するよう構成されるアクチュエータとを有する該アクティブ振動絶縁システムであって、前記アクティブ振動絶縁システムは、前記ペイロードを支持する質量を有し、前記センサは、前記質量に対する前記ペイロードの変位を感知するよう構成され、前記アクチュエータは、前記ペイロードが慣性基準質量として使用されるよう前記質量に前記作動力を加えるよう構成されることを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , F16F 15/04 , H01L 21/027

FI (6件)：

F16F15/02 A , F16F15/02 M , F16F15/04 A , F16F15/02 C , H01L21/30 503A , H01L21/30 503F

Fターム (9件)：

3J048AA01 , 3J048AB08 , 3J048AD01 , 3J048BF01 , 3J048DA01 , 3J048EA07 , 3J048EA13 , 5F046AA23 , 5F046CC01

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