特許

J-GLOBAL ID：200903019556077701

真空容器の排気方法、画像表示装置の製造方法、真空容器の排気装置、及び画像表示装置の製造装置

発明者： 神尾 優 ,  佐藤 安栄 ,  山下 眞孝 ,  河出 一佐哲
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334457
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164131
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 排気管接続時の排気管クラックを防ぐ。排気管端面の形状に依存せずに接続する。【解決手段】 内部を大気圧より低い圧力に保持する真空容器本体101と、真空容器本体内を排気するための排気管103とを少なくとも有する真空容器の排気方法において、排気管103と排気系に接続される排気管接続部105との接続に封着材104を用い、封着材を加熱溶融することで封着し接続する。

請求項（抜粋）：

内部を大気圧より低い圧力に保持する真空容器本体と、前記真空容器本体内を排気するための排気管とを少なくとも有する真空容器の排気方法において、前記排気管と排気系に接続される排気管接続部との接続に封着材を用い、該封着材を加熱溶融することで封着し接続することを特徴とする真空容器の排気方法。

IPC (2件)：

H01J 9/385 ,  F16J 12/00

FI (2件)：

H01J 9/385 A ,  F16J 12/00 Z

Fターム (8件)：

3J046AA20 ,  3J046BA05 ,  3J046BA07 ,  3J046DA03 ,  5C012AA05 ,  5C012AA09 ,  5C012PP01 ,  5C012PP08