特許

J-GLOBAL ID：200903019566922825

感放射線性樹脂組成物

発明者： 西村 幸生 ,  星 道昭 ,  征矢野 晃雅 ,  梶田 徹 ,  ロバート・ディー・アレン ,  プシュカラ・ラーオ・ヴラナシー
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社 ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046520
公開番号（公開出願番号）：特開2003-241383
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】 特に、コントラストが優れ、微細なレジストパターンを高精度に形成でき、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)5-〔(1-メチルシクロヘキシル)オキシカルボニル〕ノルボルネン、5-(2-メチル-1-アダマンチルオキシカルボニル)ノルボルネン等に代表される酸解離性基含有ノルボルネン系化合物と無水マレイン酸とからなる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)1,3-アダマンタンジカルボン酸ジ-t-ブチル、2,5-ジメチル-2,5-ジ(1-アダマンチルカルボニルオキシ)ヘキサン等に代表される化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。(A)樹脂はさらに3-ヒドロキシ-1-アダマンチル(メタ)アクリレート等に代表される(メタ)アクリル酸の極性基含有脂環族エステルを含有することが好ましい。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1-1)で表される繰返し単位と下記一般式(1-2)で表される繰返し単位とを有し、酸の作用によりアルカリ可溶性を示すアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(2-1)または一般式(2-2)で表される分子量1,000以下の化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1-1)において、各R1 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、且つR1 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR1 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成して、残りのR1 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体である。〕【化2】〔一般式(2-1)および一般式(2-2)において、Yは炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜15の直鎖状もしくは分岐状の2価の炭化水素基を示し、各R3 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示すか、あるいは何れか2つのR3 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成して、残りのR3 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは3つのR3 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成しており、各R4 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示すか、あるいは何れか2つのR4 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成して、残りのR4 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは3つのR4 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成している。〕

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/26 ,  C08F220/34 ,  C08F220/38 ,  C08F222/06 ,  C08F232/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/26 ,  C08F220/34 ,  C08F220/38 ,  C08F222/06 ,  C08F232/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (47件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08R ,  4J100AR11P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA04R ,  4J100BA05P ,  4J100BA05R ,  4J100BA06P ,  4J100BA06R ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA16R ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BA52R ,  4J100BA53R ,  4J100BA54R ,  4J100BA55R ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38