特許
J-GLOBAL ID:200903019570596983
空冷機構
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-017571
公開番号(公開出願番号):特開2001-210982
出願日: 2000年01月26日
公開日(公表日): 2001年08月03日
要約:
【要約】【課題】 装置の小型化を維持しつつ、移動する被空冷物を充分に冷却することができる空冷機構を提供することを課題とする。【解決手段】 空冷機構10には、モータ20に取り付けられたファン28と、クラッチ26と、コントローラ40とが設けられている。コントローラ40からの指令によりクラッチ26がON又はOFFにされ、プーリ16の回転軸16Aと、モータ20の回転軸20Aと繋がったり切られたりする。クラッチ26を切った状態でモータ20を回転すると、露光ヘッド12を移動させずに空冷することができ、これにより、露光ヘッド12の移動を停止した状態で露光ヘッド12を充分に冷却することができる。
請求項(抜粋):
モータの回転により被空冷物を空冷する空冷手段と、前記モータの回転力で前記被空冷物を移動させる移動手段と、を有する空冷機構であって、前記空冷手段が、前記モータの回転軸から駆動力を伝達され、前記被空冷物の周囲に気流を発生させるファンで構成され、前記移動手段と前記モータの回転軸との間にクラッチが設けられていることを特徴とする空冷機構。
IPC (8件):
H05K 7/20
, B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G03F 7/24
, G03G 15/04
, G03G 21/20
, H04N 1/04
FI (6件):
H05K 7/20 J
, G03F 7/24 G
, G03G 15/04
, B41J 3/21 L
, G03G 21/00 534
, H04N 1/04 B
Fターム (32件):
2C162AE21
, 2C162AE28
, 2C162AE48
, 2C162AE96
, 2C162FA04
, 2C162FA17
, 2H027JA11
, 2H027JB14
, 2H027JB16
, 2H027JB23
, 2H027JC04
, 2H076AB42
, 2H076AB84
, 2H097BA02
, 2H097BA10
, 5C072AA01
, 5C072AA03
, 5C072BA01
, 5C072BA05
, 5C072BA12
, 5C072CA05
, 5C072CA10
, 5C072FA16
, 5C072MA01
, 5C072MA10
, 5C072RA11
, 5E322BA03
, 5E322BA04
, 5E322BB03
, 5E322BB04
, 9A001JJ35
, 9A001KK54
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