特許

J-GLOBAL ID：200903019571333420

光導波路デバイスとその製造方法

発明者： 北村 光弘 ,  賣野 豊 ,  下田 毅
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-230748
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066048
出願日： 1998年08月17日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 形状にあわせて最適な屈折率差を有する光導波路を集積した小型且つ低損失な光導波路デバイスを高い歩留まりで製造する。【解決手段】 基板上に石英系のコア層とクラッド層とが設けられ、前記コア層とクラッド層との屈折率差が第1の屈折率差である光導波路部分1と、前記第1の屈折率差と異なる第2の屈折率差である光導波路部分2とを備えた光導波路デバイスの製造方法において、前記コア層5の上面にマスク材料6を形成する第1の工程と、前記コア層5の上面に前記マスク材料6を選択的に残した前記第1の光導波路部分2を形成すると共に、コア層の上面に前記マスク材料を設けない前記第2の光導波路部分1を形成する第2の工程と、全面に前記コウ層5と異なる組成の第1のアッパークラッド層7を堆積させる第3の工程と、前記第1の光導波路部分2の前記第1のアッパークラッド層7のみを選択的に除去する第4の工程と、全面に前記第1のアッパークラッド層7と異なる組成の第2のアッパークラッド層8を堆積させた第5の工程と、を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

コアとクラッドとの屈折率差が第1の屈折率差である光導波路部分と、前記第1の屈折率差と異なる第2の屈折率差である光導波路部分とを備えた光導波路デバイスにおいて、前記第1の屈折率差の光導波路部分と前記第2の屈折率差の光導波路部分との接続部分の導波路幅をテーパを持たせて形成したことを特徴とする光導波路デバイス。

Fターム (8件)：

2H047AA04 ,  2H047AA12 ,  2H047AA13 ,  2H047EE01 ,  2H047EE21 ,  2H047EE24 ,  2H047GG04 ,  2H047GG07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-110405